Bij reinheid gaat het om (micrometer)kleine deeltjes, moleculaire verontreinigingen (water, koolwaterstoffen, enzovoort) en uitgassing door metalen (denk aan de verschillende staalsoorten). Schone producten worden met name gevraagd voor vacuümtoepassingen in markten als semicon, analytical en space.

Men spreekt ook wel van cleanliness en doelt daarmee zowel op de reinheid van producten als op een schone manier van werken. Cleanliness begint immers met preventie: het voorkomen van verontreiniging door te werken in een schone omgeving, zoals een cleanroom, met beschermende kleding en volgens strikte procedures. De minimale verontreiniging die dan toch nog kan optreden, vergt reiniging van de producten. Dat moet uiterst zorgvuldig gebeuren om aan de reinheidseisen te kunnen voldoen en beschadiging van de producten te voorkomen.

ASML heeft als voorloper op dit gebied zogeheten cleanliness grades gedefinieerd; met name Grade 2 en Grade 4 zijn gangbaar. De klant schrijft de classificatie voor en daarmee de reinheidseisen. Hieronder vallen bijvoorbeeld de te gebruiken koelvloeistoffen en reinigingsmiddelen, maar ook de manier waarop producten op reinheid moeten worden getest en hoe verontreiniging moet worden gemeten. Denk aan visuele inspectie onder UV-licht, restgasanalyse (RGA) en particle detection.

De reinheidseisen hangen vooral af van de toepassing van de betreffende producten, bijvoorbeeld of ze in ‘gewoon’ vacuüm of in ultrahoogvacuüm worden ingezet. De belangrijkste eisen worden uitgedrukt in maximaal toegestane waarden voor de partiële drukken van moleculaire verontreinigingen en de deeltjesconcentraties per vierkante meter productoppervlak voor verschillende klassen van deeltjesdiameters. Daaruit volgen dan weer de middelen die moeten worden ingezet, zoals een cleanroom van een bepaalde ISO-klasse en een geschikte reinigingsmethode.

Grade-4 reinigen is met de juiste installaties inmiddels redelijk eenvoudig te realiseren, terwijl Grade-2 reinigen nog wel een uitdaging is, al ontwikkelt de techniek hiervoor zich snel. Wij beschikken in ons netwerk over alle benodigde expertise en competenties om onderdelen te kunnen leveren volgens de classificaties Grade-2 Cleanliness en Grade-4 Cleanliness.

Leveren volgens Grade 2 is alleen mogelijk als daarmee bij de productie – of zelfs al bij het ontwerp – van de onderdelen rekening wordt gehouden. De hele keten moet aan de eisen kunnen voldoen. Wij werken dan alleen met partners die volgens de Grade-2 normen werken. Zij dienen bijvoorbeeld speciale smeermiddelen te gebruiken en hun operators mogen onderdelen absoluut niet met de blote hand oppakken. Produceren zij niet conform deze eisen, dan is daarna reiniging volgens de Grade-2 eisen onmogelijk. Wij zien daarom strikt toe op naleving van Grade 2 in onze keten.