Bei der Reinheit geht es um (mikrometergroße) Partikel, molekulare Verunreinigungen (Wasser, Kohlenwasserstoffe usw.) und Ausgasungen von Metallen (man denke an die verschiedenen Stähle). Reine Produkte sind besonders bei Vakuumanwendungen auf Märkten wie der Halbleiterindustrie, der Analytik und der Raumfahrt gefragt.

Der Begriff Reinheit bezieht sich sowohl auf die Sauberkeit von Produkten als auch auf eine saubere Arbeitsweise. Reinheit beginnt mit der Vorbeugung: Vermeidung von Verunreinigungen durch Arbeiten in einer sauberen Umgebung, z. B. in einem Reinraum, mit Schutzkleidung und unter Einhaltung strenger Verfahren. Die minimale Verunreinigung, die dennoch auftreten kann, erfordert die Reinigung der Produkte. Dies muss äußerst sorgfältig erfolgen, um die Reinheitsanforderungen zu erfüllen und Schäden an den Produkten zu vermeiden.

Als Vorreiter auf diesem Gebiet hat das Unternehmen ASML sogenannte Reinheitsgrade definiert, wobei vor allem Grad 2 und Grad 4 üblich sind. Der Kunde gibt die Klassifizierung und damit die Reinheitsanforderungen vor. Dazu gehören z.B. die zu verwendenden Kühl- und Reinigungsmittel, aber auch die Art und Weise, wie die Produkte auf Reinheit zu prüfen sind und die Verschmutzung zu messen ist. Dazu gehören die Sichtprüfung unter UV-Licht, die Restgasanalyse (RGA) und die Partikeldetektion.

Die Reinheitsanforderungen hängen hauptsächlich von der Anwendung der betreffenden Produkte ab, z. B. ob sie im „normalen“ Vakuum oder im Ultrahochvakuum verwendet werden. Die wichtigsten Anforderungen werden in maximal zulässigen Werten für die Partialdrücke molekularer Verunreinigungen und die Partikelkonzentrationen pro Quadratmeter Produktoberfläche für verschiedene Klassen von Partikeldurchmessern ausgedrückt. Daraus ergeben sich dann die einzusetzenden Mittel, wie ein Reinraum einer bestimmten ISO-Klasse und ein geeignetes Reinigungsverfahren.

Die Reinigung nach Reinheitsgrad 4 ist heute mit den richtigen Anlagen relativ leicht zu erreichen, während die Reinigung nach Reinheitsgrad 2 immer noch eine Herausforderung darstellt, auch wenn sich die Technologie hierfür rasch weiterentwickelt. Wir verfügen in unserem Netz über das erforderliche Fachwissen und die Kompetenzen, um Teile gemäß den Reinheitsgraden 2 und 4 zu liefern.

Eine Lieferung nach Grad 2 ist nur möglich, wenn dies bereits bei der Produktion – oder sogar schon bei der Konstruktion – der Bauteile berücksichtigt wird. Die gesamte Kette muss in der Lage sein, die Anforderungen zu erfüllen. Wir arbeiten daher nur mit Partnern zusammen, die nach Grade 2-Standards arbeiten. Sie müssen zum Beispiel spezielle Schmiermittel verwenden und ihre Mitarbeiter dürfen die Teile auf keinen Fall mit bloßen Händen berühren. Wenn sie diese Anforderungen nicht einhalten, ist eine spätere Reinigung nach Grad-2-Anforderungen nicht mehr möglich. Wir setzen daher die Einhaltung der Reinheitsgüte 2 in unserer Kette streng durch.